高速バックプレーン露光装置も同じ環境にあります。全領域の前面と背面の画像の位置合わせ許容誤差は0.0125mmに維持する必要があります。 CCDカメラは、前面と背面のレイアウト調整を完了するために必要です。エッチング後、4層の穴あけシステムを使用して内層に穴を開けました。ミシン目はコアボードを通過し、位置精度は0.025mmに維持され、再現性は0.0125mmです。以下は、ISOLA Tachyon 100G高速バックプレーンに関連するものです。ISOLATachyon 100G高速バックプレーンについて理解を深めていただけると助かります。
